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J-GLOBAL ID：202102233536249587   整理番号：21A1575279

種々のZr/(Zr+Ti)比を有する分極軸配向正方晶PZTエピタキシャル膜の特性評価

Characterization of polar axis-oriented tetragonal epitaxial PZT films with various Zr/(Zr+Ti) ratio

著者 (7件)： 大越春香 (東京工大) ,  森川友秀 (東京工大) ,  舘山明紀 (東京工大) ,  小寺正徳 (東京工大) ,  白石貴久 (東京工大) ,  江原祥隆 (防衛大) ,  舟窪浩 (東京工大)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 68th  ページ： ROMBUNNO.19p-Z13-11  発行年： 2021年02月26日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

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シソーラス用語： X線回折 ,...
準シソーラス用語： 圧電特性 ,...

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分類 (2件)： 蛋白質・ペプチド一般  (EB03010N) ,  生体膜一般  (EF04010G)

タイトルに関連する用語 (8件)： Zr ,  比 ,  分極 ,  配向 ,  正方晶 ,  PZT ,  エピタキシャル膜 ,  特性評価