抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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・近年,大気圧下において,室温から100°C程度の低温プラズマ安定生成が可能となり,様々な分野への応用を可能化。
・気圧調整が不要で照射対象への熱損傷もなく,接着等の工業応用や殺菌,止血等の生命科学分野への応用にも期待大。
・これまで開発のマルチガス温度制御プラズマジェット構造を示し,低温,高温に制御温度制御流体を金属製プラズマジェット筐体に流し,筐体とプラズマ生成用ガス温度を制御。
・本研究では,チラーは低温制御し,ガスと装置を冷却し,ガスのみを所望の温度までヒータで加熱する温度制御機構を組み込んだ新しいプラズマ装置を製作。