特許
J-GLOBAL ID:202103000457950838
単分子トランジスタ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2020-503630
特許番号:特許第6799880号
出願日: 2019年02月28日
請求項(抜粋):
【請求項1】 第1電極層と、前記第1電極層の先端部に配置された第1金属粒子とを有する第1電極と、
第2電極層と、前記第2電極層の先端部に配置された第2金属粒子を有する第2電極と、
前記第1電極及び前記第2電極から絶縁された第3電極と、
π共役骨格を有するπ共役分子と、を含み、
前記第1電極と前記第2電極とは、前記第1金属粒子と前記第2金属粒子とが対向し、間隙をもって配置され、
前記第1電極層及び前記第2電極層は前記先端部まで20nm以下の均一の幅を有し、膜厚が20nm以下であり、
前記第1金属粒子及び前記第2金属粒子の一端から他端までの幅が20nm以下であり、
前記第3電極は前記第1金属粒子と前記第2金属粒子とが対向する間隙に隣接し、前記第1金属粒子及び前記第2金属粒子と離隔して配置され、
前記第1電極層及び前記第2電極層の表面に、前記第1金属粒子及び前記第2金属粒子に加え、複数の他の金属粒子を含み、
前記第1金属粒子及び前記第2金属粒子、並びに前記複数の他の金属粒子は、それぞれが前記第1電極層及び前記第2電極層の表面において相互に接触せず、離間して配置され、
前記π共役分子は前記第1金属粒子と前記第2金属粒子との間隙に配置され、
前記第1電極層及び前記第2電極層が白金で形成され、前記第1金属粒子及び前記第2金属粒子並びに前記他の金属粒子が金であることを特徴とする単分子トランジスタ。
IPC (4件):
H01L 51/30 ( 200 6.01)
, H01L 51/05 ( 200 6.01)
, H01L 29/786 ( 200 6.01)
, H01L 21/336 ( 200 6.01)
FI (7件):
H01L 29/28 220 C
, H01L 29/28 100 A
, H01L 29/78 618 B
, H01L 29/78 622
, H01L 29/78 616 U
, H01L 29/78 616 K
, H01L 29/78 616 T
引用特許:
引用文献:
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