HfO<sub>2</sub>基強誘電体膜のラマン分光測定

高橋雄真; 白石貴久; 小寺正徳; 志村礼司郎; 三村和仙; 森分博紀; 田口綾子; 舟窪浩

文献

J-GLOBAL ID：202202221315740901 整理番号：22A0133466

HfO₂基強誘電体膜のラマン分光測定

Raman spectroscopy of ferroelectric HfO₂-based films

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巻： 82nd ページ： ROMBUNNO.12p-N301-14 発行年： 2021年08月26日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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分光分析 , 生体計測

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