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J-GLOBAL ID:202202222157590373   整理番号:22A2384142

セグメント高速ステアリングミラー駆動のための圧電素子のヒステリシスの相似性を利用したコントローラゲイン調整法

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資料名:
巻: 2022  号: 秋季  ページ: ROMBUNNO.B96  発行年: 2022年08月25日 
JST資料番号: Y0914B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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複数の小形ミラーを集積化,協調駆動するセグメント高速ステアリングミラーにおいて,駆動に用いる圧電アクチュエータの非線形特性は,ミラーの面のばらつきの原因となる.本報では,ヒステリシスを考慮し,単純なコントローラゲインの調整で,複数の小形ミラーの応答特性を均一化することを目標とした制御方法の開発を行う.提案手法によるゲイン調整時と未調整時の偏差を実験により比較する.(著者抄録)
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分類 (1件):
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レーザ一般 
引用文献 (3件):

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