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J-GLOBAL ID：202202226013919465   整理番号：22A1706999

高感度MEMSセンサモジュールのためのデバイスの評価

Evaluation of Device for High-Sensitivity MEMS Sensor Module

著者 (11件)： 内山晃宏 (東京工大) ,  柴田滉平 (東京工大) ,  大西哲 (東京工大) ,  町田克之 (東京工大) ,  緒方大樹 (東京工大) ,  石原昇 (東京工大) ,  内富寛隆 (東京工大) ,  CHANG Tso-Fu Mark (東京工大) ,  曽根正人 (東京工大) ,  三宅美博 (東京工大) ,  伊藤浩之 (東京工大)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 69th  ページ： ROMBUNNO.25a-E103-4  発行年： 2022年02月25日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

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シソーラス用語： 高温 ,...
準シソーラス用語： 低雑音

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分類 (5件)： 分析機器  (CC02020S) ,  蛋白質・ペプチド一般  (EB03010N) ,  レーザの応用  (BD04100V) ,  バイオアッセイ  (EA03060N) ,  半導体レーザ  (BD04070L)

タイトルに関連する用語 (4件)： 高感度 ,  MEMSセンサ ,  モジュール ,  評価