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J-GLOBAL ID：202202288648828233   整理番号：22A0132039

面照射型大気圧マルチガスプラズマ装置の開発と基礎特性の測定

Development and basic performance measurement of atmospheric shower head type multi-gas plasma source

著者 (5件)： 野口剛 (東工大 未来研) ,  山崎顕一 (東工大 未来研) ,  山崎顕一 (東芝インフラシステムズ) ,  末永祐磨 (東工大 未来研) ,  沖野晃俊 (東工大 未来研)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 82nd  ページ： ROMBUNNO.10a-S301-7  発行年： 2021年08月26日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

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シソーラス用語： *プラズマ ,...

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分類 (1件)： 蛋白質・ペプチド一般  (EB03010N)

タイトルに関連する用語 (5件)： 大気圧 ,  マルチ ,  プラズマ装置 ,  開発 ,  基礎