電荷トラップ評価方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人平田国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-161603
公開番号（公開出願番号）：特開2019-039785
特許番号：特許第7108386号
出願日： 2017年08月24日
公開日（公表日）： 2019年03月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】横型構造を有する半導体素子のソース電極及びドレイン電極と基板との間に、閾値電圧と同符号かつ前記閾値電圧以上の大きさの初期化電圧を印加し、トラップされた電荷をトラップ準位から追い出してトラップ状態を初期化するステップと、前記トラップ状態の初期化後、前記ソース電極と前記ドレイン電極の間に流れる電流をモニタして、電荷捕獲の評価、電流コラプスの評価、及び電荷放出の評価のうちの少なくともいずれか1つを実施して前記半導体素子の電荷トラップを評価するステップと、を含み、前記閾値電圧は、前記ソース電極及び前記ドレイン電極と前記基板との間に印加される電圧であって、前記ソース電極と前記ドレイン電極の間に電圧が印加されているときにチャネル電流のオン・オフが切り替わる電圧であり、前記電荷捕獲の評価は、前記トラップ状態の初期化後、前記ソース電極及び前記ドレイン電極と前記基板との間の電圧を前記初期化電圧から前記閾値電圧と同符号かつ前記閾値電圧以下の大きさのストレス電圧に変えたときの、前記ソース電極と前記ドレイン電極の間に流れる電流の変化から、前記ストレス電圧を印加する際の電荷トラップを評価するものであり、前記電流コラプスの評価は、前記電荷捕獲の評価後、前記ソース電極及び前記ドレイン電極と前記基板との間の電圧を前記ストレス電圧から0Vに変え、前記電圧が0Vになった直後の電流値と、一定時間経過した後の飽和した電流値の比を求めることにより、前記ストレス電圧印加後のストレス電圧が印加されていない状態の電荷トラップを評価するものであり、前記電荷放出の評価は、前記電流コラプスの評価後、前記ソース電極及び前記ドレイン電極と前記基板との間の電圧を0Vから前記ストレス電圧に変えたときの、前記ソース電極と前記ドレイン電極の間に流れる電流の変化から、前記ストレス電圧を印加する際の電荷放出を評価するものである、電荷トラップ評価方法。

IPC (5件)：

G01R 31/26 ( 202 0.01) , H01L 21/338 ( 200 6.01) , H01L 29/778 ( 200 6.01) , H01L 29/812 ( 200 6.01) , H01L 21/66 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G01R 31/26 B , H01L 29/80 H , H01L 21/66 V , G01R 31/26 A

引用特許：

審査官引用 (8件)

スイッチ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-120755 出願人：パナソニック株式会社
半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2016-025223 出願人：トヨタ自動車株式会社, 株式会社豊田中央研究所
半導体素子の検査方法及び半導体検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-148610 出願人：パナソニック株式会社

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