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J-GLOBAL ID：202302217096549726   整理番号：23A0206271

Au錘1軸MEMSセンサモジュールのノイズフロアの評価

Noise floor estimation of Au proof-mass single-axis MEMS sensor module

著者 (11件)： 大西哲 (東京工大) ,  御宿希祐 (東京工大) ,  TENNETI Devi Srujana (東京工大) ,  CHAKRABORTY Parthojit (東京工大) ,  町田克之 (東京工大) ,  緒方大樹 (東京工大) ,  内富寛隆 (東京工大) ,  CHANG Tso-Fu Mark (東京工大) ,  曽根正人 (東京工大) ,  三宅美博 (東京工大) ,  伊藤浩之 (東京工大)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 83rd  ページ： ROMBUNNO.22a-A406-1  発行年： 2022年08月26日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

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シソーラス用語： *雑音 ,...
準シソーラス用語： 定量的評価 ,...

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分類 (4件)： 分析機器  (CC02020S) ,  半導体レーザ  (BD04070L) ,  生物物理的研究法  (EA03020V) ,  診断学一般  (GC03001Y)

タイトルに関連する用語 (8件)： Au ,  錘 ,  1軸 ,  MEMSセンサ ,  モジュール ,  ノイズ ,  フロア ,  評価