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J-GLOBAL ID：202302225118587240   整理番号：23A1827477

大気圧低温プラズマの装置開発と表面処理応用

Development of Atmospheric Low-Temperature Plasma and Application to Surface Treatment

著者 (1件)： 沖野晃俊 (東京工大 未来産技研)
資料名： フジコー技報(Web)  (Tsukuru (Web))
号： 27  ページ： 22-27 (WEB ONLY)  発行年： 2019年12月01日 
JST資料番号： U2964A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・21世紀に入った頃から,大気圧下で生成するプラズマに関する研究やその応用が注目。
・大気圧プラズマは従来の低圧プラズマで必須であった真空容器を必要としないため,自動車等の大型物体,生体,液体などの処理も可能。
・筆者らの研究室では零下から高温までプラズマの温度を制御する技術をもつため,医療や農業などの応用研究も実施。
・本稿では,表面改質等への応用を視野に入れて開発した新しい大気圧プラズマ装置を紹介し,いくつかの適用例について記述。

シソーラス用語： *大気プラズマ ,  *表面処理 ,  表面改質 ,  プラズマ装置 ,  温度制御 ,  *大気圧低温プラズマ

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  プラズマ装置  (BJ02082I)

引用文献 (5件)：

• 千葉光一、沖野晃俊 他、分析化学実技シリーズICP発光分析、共立出版 (2013).
• 沖野晃俊 編、大気圧プラズマ技術とプロセス応用、シーエムシー出版 (2017).
• 宮原秀一、沖野晃俊 他、技術シーズを活用した研究開発テーマの発掘、技術情報協会 (2013).
• 宮原秀一、沖野晃俊 他、バイオフィルムの基礎と制御、NTS(2008).
• T. Oshita, A. Okino et al., Temperature Controllable Atmospheric Plasma Jet, IEEE Trans. on Plasma Sciences, 43, 6, pp.1987-1992 (2015).

タイトルに関連する用語 (4件)： 大気圧低温プラズマ ,  開発 ,  表面処理 ,  応用