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J-GLOBAL ID：202302229616537400   整理番号：23A2513195

異種材料集積光回路に向けた大気圧プラズマジェットによるシリコンの表面状態の観測

Observation of surface condition of silicon by Atmospheric Plasma Jet toward Heterogeneous Material-integrated Photonic Circuits

著者 (7件)： 日原弘喜 (東京工大) ,  山内素明 (東京工大) ,  沖野晃俊 (東京工大) ,  沖野晃俊 (東京工大) ,  西山伸彦 (東京工大) ,  西山伸彦 (東京工大) ,  西山伸彦 (技術研究組合光電子融合基盤技術研)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 70th  ページ： ROMBUNNO.15p-A502-17  発行年： 2023年02月27日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

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シソーラス用語： *プラズマ ,...

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分類 (2件)： 蛋白質・ペプチド一般  (EB03010N) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L)

タイトルに関連する用語 (5件)： 異種材料 ,  集積光回路 ,  大気圧プラズマジェット ,  シリコン ,  観測