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J-GLOBAL ID：202302235085260565   整理番号：23A0205525

異種材料集積光回路に向けた大気圧プラズマによる半導体親水化の検討

Investigation of Semiconductor Hydrophilicity by Atomosphere Pressure Plasma toward Heterogeneous Material-integrated Photonic Circuits

著者 (12件)： 日原弘喜 (東京工大) ,  EISSA Moataz (東京工大) ,  山口圭太 (東京工大) ,  小野寺広夢 (東京工大) ,  大礒義孝 (東京工大) ,  雨宮智宏 (東京工大) ,  雨宮智宏 (東京工大) ,  沖野晃俊 (東京工大) ,  沖野晃俊 (東京工大) ,  西山伸彦 (東京工大) ,  西山伸彦 (東京工大) ,  西山伸彦 (技術研究組合 光電子融合基盤技研)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 83rd  ページ： ROMBUNNO.21p-A205-18  発行年： 2022年08月26日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

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シソーラス用語： *プラズマ ,...

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分類 (3件)： 蛋白質・ペプチド一般  (EB03010N) ,  レーダ  (ND13010H) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 異種材料 ,  集積光回路 ,  大気圧プラズマ ,  親水化