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J-GLOBAL ID：202302249571801205   整理番号：23A2513973

半導体における計測インフォマティクス

Metrology Informatics in Semiconductors

著者 (3件)： 冨谷茂隆 (ソニーセミコンダクタソリューションズ) ,  冨谷茂隆 (ソニーグループ) ,  冨谷茂隆 (東京工大)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 70th  ページ： ROMBUNNO.16p-A402-5  発行年： 2023年02月27日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 昨今、「マテリアルズインフォマティクス(MI)」に関する記事がよく見られるようになってきた。材料やデバイスは、イノベーション創出の最重要基盤となるものの、一般に研究開発からその実用化までは非常に長い期間を要する。そこで、マテリアルズインフォ...【本文一部表示】

シソーラス用語： 最適化 ,  *半導体 ,  半導体材料 ,  HF【周波数】 ,  計算機械 ,  光学素子 ,  電子エネルギー損失分光法 ,  ケモメトリックス ,  プラズマエッチング ,  透過型電子顕微鏡 ,  機械学習 ,  計算科学 ,  窒化物半導体 ,  改変
準シソーラス用語： インフォマティクス ,  パワーデバイス , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 計測 ,  インフォマティクス