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J-GLOBAL ID：202302264447796323   整理番号：23A0008394

FePt厚膜磁石を用いたマイクロポンプ用MEMS電磁アクチュエータ

MEMS-based Magnetic Actuators Using Thick-film FePt Permanent Magnet for Micropumps

著者 (8件)： QI Chao (東京工大) ,  NAGAI Keita (東京工大) ,  JI Ming (東京工大) ,  MIYAHARA Yu (長崎大) ,  SUGITA Naohiro (東京工大) ,  SHINSHI Tadahiko (東京工大) ,  NAKANO Masaki (長崎大) ,  SATO Ciaki (東京工大)
資料名： MAGDAコンファレンス講演論文集(CD-ROM)
巻： 31st  ページ： 577-578  発行年： 2022年11月01日 
JST資料番号： F1353B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,マイクロポンプ用のFePt厚膜を用いた磁気アクチュエータを提案した。FePt膜は永久磁石としてだけでなく膜材料としても機能する。FePt厚膜をパルスレーザ蒸着(PLD)法により作製した。PLD製FePt膜の磁化領域はフラックス源として機能するが,磁化と非磁化領域は膜において役割を果たす。部分的に磁化されたFePt膜を有する提案した磁気アクチュエータの使用は,双方向磁気マイクロポンプの複雑な構造と製造プロセスを単純化するために有益である。カスタマイズ試験リグを用いてPLD製FePt膜の引張試験を行った。測定結果は,典型的な希土類永久磁石およびSi結晶よりも,その大きな引張強度及びより低いヤング率のため,膜材料としてPLD製FePtの可能性を示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *アクチュエータ ,  *MEMS ,  *マイクロポンプ ,  *磁石 ,  パルスレーザ蒸着 ,  *厚膜 ,  磁化 ,  カスタム化 ,  引張試験 ,  希土類元素 ,  引張強さ ,  Young率 ,  *電磁アクチュエータ ,  機械的性質 ,  強度
準シソーラス用語： カスタマイズ ,  引張強度 ,  希土類

分類 (2件)： 電磁石  (NA05080G) ,  ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

引用文献 (2件)：

• D.J. Laser, J.G. Santiago, ′′A review of micropumps′′, J Micromech Microeng, 14(6), R35, 2004.
• M. Nakano, Y. Miyahara, A. Tsuruoka, A. Yamashita, T. Yanai, T. Honda, T. Shinshi, H. Fukunaga, ′′Preparation of Fe-Pt thin-sheet magnets using exfoliation behavior′′, AIP Adv., 12(3), 035232, 2022.

タイトルに関連する用語 (4件)： 厚膜磁石 ,  マイクロポンプ ,  MEMS ,  電磁アクチュエータ