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J-GLOBAL ID：202302282582458431   整理番号：23A2514035

ガラス基板上に作製された一軸配向性PZT薄膜の分極および圧電特性の改善

Improvement of polarization and piezoelectric properties of one-axis-oriented PZT thin films fabricated on glass substrates

著者 (6件)： 山崎佑介 (上智大) ,  横田幸恵 (上智大) ,  島宏美 (防衛大) ,  中村美子 (東京工大) ,  舟窪浩 (東京工大) ,  内田寛 (上智大)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 70th  ページ： ROMBUNNO.16p-A409-5  発行年： 2023年02月27日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 【はじめに】ガラス材料を基板としたPZT薄膜素子は圧電式触覚デバイスや各種の電気光学デバイスなど多方面の電子デバイスへの応用が期待できるが、素子製造にはガラス基板の熱歪み発生を回避するための低温加工技術が必要となる。我々はこれまでに金属酸化...【本文一部表示】

シソーラス用語： 化学組成 ,  結晶化 ,  高温 ,  熱分解 ,  *薄膜 ,  *分極 ,  *圧電気 ,  強誘電性 ,  結晶度 ,  スピンコーティング ,  残留分極 ,  ナノシート ,  ヒステリシスループ ,  *ガラス基板 ,  エーテル ,  脂肪族アルコール

分類 (1件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L)

物質索引 (1件)： 2-メトキシエタノール

タイトルに関連する用語 (7件)： ガラス基板 ,  作製 ,  一軸配向 ,  PZT ,  薄膜 ,  分極 ,  圧電特性