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J-GLOBAL ID：202402211699193937   整理番号：24A1647126

光電子ホログラフィーによるSi結晶中のAs_xBクラスターの観測

Observation of As_xB clusters in Si crystal by photoelectron holography

著者 (7件)： 吉田桃子 (奈良先端科学技術大学院大) ,  橋本由介 (奈良先端科学技術大学院大) ,  SUN Z. (奈良先端科学技術大学院大) ,  盛喜琢也 (奈良先端科学技術大学院大) ,  星井拓也 (東京工大) ,  筒井一生 (東京工大) ,  松下智裕 (奈良先端科学技術大学院大)
資料名： 日本物理学会講演概要集(CD-ROM)  (日本物理学会春季大会講演概要集(CD-ROM))
巻： 79  号： 1  ページ： ROMBUNNO.19aK1-9  発行年： 2024年03月22日 
JST資料番号： S0671C  ISSN： 2189-079X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 半導体デバイスの性能向上のためには、半導体中のキャリア密度を増加させることが必要である。しかし、SiにAsを過剰にドープすると、電気的に不活性なクラスター構造が形成される[1]。そこで、SiにAsとBを共ドープすることで、電...【本文一部表示】

シソーラス用語： *ホログラフィー ,  偏光測定 ,  構造 ,  *ケイ素 ,  *不純物分布 ,  円偏光二色分光法 ,  *結晶性シリコン
準シソーラス用語： *光電子ホログラフィー ,  円二色性分光法 ,  クラスター構造 ,  *シリコン結晶

分類 (2件)： 電子分光法  (BK01050P) ,  半導体の格子欠陥  (BK12040Q)

タイトルに関連する用語 (4件)： 光電子ホログラフィー ,  Si結晶 ,  クラスター ,  観測