HfO<sub>2</sub>-CeO<sub>2</sub>膜における電気特性の膜厚及び組成依存性

平井浩司; 岡本一輝; 白石貴久; 白石貴久; 山岡和希子; 鶴丸理沙子; 井上ゆか梨; 舟窪浩

文献

J-GLOBAL ID：202402222619676812 整理番号：24A0612687

HfO₂-CeO₂膜における電気特性の膜厚及び組成依存性

Thickness and composition dependence of electrical property in HfO₂-CeO₂ film

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巻： 84th ページ： ROMBUNNO.22a-A201-2 発行年： 2023年09月05日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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蛋白質・ペプチド一般 , 生体膜一般 , 脂質一般

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HfO2-CeO2膜における電気特性の膜厚及び組成依存性

HfO₂-CeO₂膜における電気特性の膜厚及び組成依存性