文献
J-GLOBAL ID：202402271688885860
整理番号：24A0372998
触覚センサ用カンチレバー型検知素子のCr-N薄膜横感度を利用した小型化
Miniaturization of Cantilever-type Sensing Elements for Tactile Sensors Using Cr-N Thin Film Transverse Sensitivity
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著者 (6件)：
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資料名：
巻：
2023
ページ：
ROMBUNNO.7-C-p1-3 (WEB ONLY)
発行年：
2023年08月24日
JST資料番号：
U2681A
資料種別：
会議録 (C)
記事区分：
短報
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (2件)：
分類
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梁,桁
, 計測機器一般
タイトルに関連する用語 (6件)：
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