文献
J-GLOBAL ID：202402279505991814
整理番号：24A2575582
MEMS応用を鑑みた二層セラミックス下地層付きSi基板上へのネオジム厚膜磁石の開発
Development of Thick-Film Neodymium Magnets on Si Substrates with Two Ceramics Underlayers for MEMS
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著者 (8件)：
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資料名：
巻：
2024
ページ：
ROMBUNNO.2-P1-16 (WEB ONLY)
発行年：
2024年08月26日
JST資料番号：
U2681A
資料種別：
会議録 (C)
記事区分：
原著論文
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (1件)：
分類
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電磁石
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