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J-GLOBAL ID：202402280611669684   整理番号：24A0472528

医療用MEMS応用に向けた小型磁石の作製

Preparation of miniaturized magnets applied to medical MEMS

著者 (9件)： 宮原悠 (長崎大) ,  福田樹 (長崎大) ,  東倖主 (長崎大) ,  山下昂洋 (長崎大) ,  柳井武志 (長崎大) ,  福永博俊 (長崎大) ,  中野正基 (長崎大) ,  QI Chao (東京工大) ,  進士忠彦 (東京工大)
資料名： 電気学会研究会資料(Web)  (Papers of Technical Meeting, IEE Japan (Web))
号： MAG-23-154-166 マグネティックス研究会  ページ： 69-72 (WEB ONLY)  発行年： 2023年12月16日 
JST資料番号： U2358A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,Fe-PtおよびNd-Fe-Bの2つの小型磁石を実証する。10ミクロンより厚い等方性Fe-Pt薄板は,レーザアブレーション技術を用いてSi基板上にFe-Pt膜を堆積後の剥離挙動を利用することによって調製できた。硬磁性を得るためにポストアニーリングプロセスを用いた。さらに,Nd-Fe-B膜磁石を低温プロセス下でLIFT(レーザ誘発前方移動)技術により作製した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *MEMS ,  *磁石 ,  *小型 ,  等方性 ,  薄板 ,  レーザアブレーション ,  焼なまし ,  半導体プロセス ,  磁性 ,  剥離 ,  低温プロセス
準シソーラス用語： ポストアニーリング ,  硬磁性

分類 (2件)： 電磁石  (NA05080G) ,  磁気の計測法・機器  (AD07060U)

引用文献 (6件)：

• 渡辺清,増本量,′′Fe-Pt系磁石合金の高エネルギー積について′′, 日本金属学会誌,47,699(1983).
• N. H. Hai, N. M. Dempsey, D. Givord, “Hard magnetic Fe-Pt alloys prepared by cold-deformation”, J. Magn. Magn. Mater. 262, 353(2003).
• M. Nakano, Y. Miyahara, A. Tsuruoka, A. Yamashita, T. Yanai, T. Honda, T. Shinshi, and H. Fukunaga., AIP Advances, vol. 12, No.3, #035232(2022).
• N. M. Dempsey, A. Walther, F. May, D. Givord, K. Khlopkov, O. Gutfleisch., ” High performance hard magnetic NdFeB thick films for integration into micro-electro-mechanical systems”, Appl. Phys. Lett. Vol. 90, #092509 (2007).
• M. Nakano,S. Takeichi,K. Takashima,A. Yamashita,T. Yanai, and H. Fukunaga,”Preparation and Deposition of Pr-Fe-B Permanent-Magnet Powder Using Pulsed Laser”, IEEE Transactions on Magnetics, vol. 56, #7516303(2020).

タイトルに関連する用語 (5件)： 医療 ,  MEMS ,  応用 ,  磁石 ,  作製