強誘電体Al<sub>0.7</sub>Sc<sub>0.3</sub>Nのラマン分光測定と膜厚依存性

文献

J-GLOBAL ID：202402285274655136 整理番号：24A0611222

強誘電体Al_0.7Sc_0.3Nのラマン分光測定と膜厚依存性

Raman spectroscopy measurement of thickness dependent ferroelectric Al_0.7Sc_0.3N films

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巻： 84th ページ： ROMBUNNO.20a-A309-2 発行年： 2023年09月05日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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生物物理的研究法

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