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J-GLOBAL ID：202402292873950915   整理番号：24A1345810

金属酸化物テンプレート上における化学溶液堆積法由来PZT薄膜の結晶成長機構の解明

Investigation for crystal growth mechanism of CSD-derived PZT films on metal-oxide templates

著者 (7件)： 内田寛 (上智大) ,  山崎佑介 (上智大) ,  横田幸恵 (上智大) ,  島宏美 (防衛大) ,  白石貴久 (熊本大) ,  木口賢紀 (熊本大) ,  舟窪浩 (東京工大)
資料名： 電子材料研究討論会プログラム講演予稿集(CD-ROM)
巻： 43rd  ページ： ROMBUNNO.2B01  発行年： 2023年11月08日 
JST資料番号： L8356B  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： Ca_2Nb_3O_10ナノシート(ns-CN)テンプレー...【JST機械翻訳】【本文一部表示】

シソーラス用語： X線回折 ,  化学組成 ,  結晶化 ,  *薄膜 ,  分極 ,  ケイ素 ,  ジルコニウム ,  チタン ,  結晶方位 ,  電気装置部品 ,  ウエハ【IC】 ,  優先配向 ,  ペロブスカイト型結晶 ,  スピンコーティング ,  ナノシート ,  ガラス基板

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B)

タイトルに関連する用語 (6件)： 金属酸化物 ,  テンプレート ,  化学溶液堆積法 ,  PZT ,  薄膜 ,  結晶成長