光熱変換基板、その製造方法、それを用いた赤外線センサおよび反応性基板

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2021-027354
公開番号（公開出願番号）：特開2022-128892
特許番号：特許第7593626号
出願日： 2021年02月24日
公開日（公表日）： 2022年09月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光の照射によって発熱する光熱変換基板であって、前記光の波長λにおける複素誘電率の虚部が正である材料からなり、表面に互いに独立したピラーからなるナノ構造を有し、前記ピラーの周期は、前記波長λの2倍以下であり、前記ピラーの幅に対する前記ピラーの高さの比は、5以上20以下であり、前記ピラーの周期に対する前記ピラーの幅の比は、0.3以上0.7以下の範囲である、光熱変換基板。

IPC (1件)：