特許
J-GLOBAL ID：200903011765887540

熱型赤外線検出素子

発明者：
佐々木 得人

佐々木 得人 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 宮本 恵司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-042222
公開番号（公開出願番号）：特開2006-226891
出願日： 2005年02月18日
公開日（公表日）： 2006年08月31日
要約：
【課題】入射赤外線の吸収効率を高めて感度を向上させることができる熱型赤外線検出素子の構造、特に、受光部を構成する赤外線吸収体の構造の提供。【解決手段】受光部11の赤外線入射面側の表面に赤外線吸収材料からなる略同一形状の複数の突起が略一定の間隔で配列された凸状パターン15を形成したり、赤外線入射面側の表面に配置される赤外線吸収膜に略同一形状の複数の孔が略一定の間隔で配列された凹状パターンを形成し、凸状パターン15や凹状パターンで受光部11に入射する赤外線を分散させる。これにより赤外線の反射を抑制し、赤外線の吸収効率を高めて熱型赤外線検出素子の感度を向上させる。また、この凸状パターン15は一般的な半導体製造装置を用いて形成可能であり、直下の赤外線吸収膜との密着性に優れているため、熱型赤外線検出素子の信頼性や均一性を向上させることもできる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
感熱抵抗体と赤外線吸収体とを備える受光部が、一端が基板に固定される梁によって中空に保持されてなる熱型赤外線検出素子において、 前記受光部の赤外線入射面側の表面に、赤外線吸収材料からなる略同一形状の複数の突起が略一定の間隔で配列された凸状パターンが形成されていることを特徴とする熱型赤外線検出素子。
IPC (3件)：
G01J 1/02 ,  G01J 5/20 ,  H01L 37/00
FI (3件)：
G01J1/02 C ,  G01J5/20 B ,  H01L37/00
Fターム (6件)：
2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G065BC12 ,  2G066BA08 ,  2G066CA01
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 熱型赤外線検出器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-259796   出願人：日本電気株式会社
審査官引用 (4件)
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