フォトニック結晶素子の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：弁理士法人深見特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-206561
公開番号（公開出願番号）：特開2020-085905
特許番号：特許第7565039号
出願日： 2019年11月14日
公開日（公表日）： 2020年06月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ガス透過能を有する材料により形成され、かつ、各々の直径が可視光の波長よりも小さい複数のピラーが周期的に配列された鋳型を準備するステップと、塩化ビニルと酢酸ビニルとビニルアルコールとの共重合体が溶解し、かつ、複数の酸化ジルコニウムナノ粒子が均一に分散した液体樹脂を基板上に滴下するステップと、前記鋳型を前記液体樹脂に転写するとともに、前記鋳型を介して前記液体樹脂の溶媒を蒸発させることによって前記液体樹脂が固体化した樹脂を形成するステップと、前記樹脂から前記鋳型を除去するステップと含む、フォトニック結晶素子の製造方法。

IPC (3件)：