特許
J-GLOBAL ID：202403011173323144
プラズマ発生装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
山本 秀策
, 森下 夏樹
, 飯田 貴敏
, 石川 大輔
, 山本 健策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2023-040883
公開番号（公開出願番号）：特開2024-130920
出願日： 2023年03月15日
公開日（公表日）： 2024年09月30日
要約：
【課題】本発明の課題は、希ガスや窒素ガスを用いたプラズマよりも殺菌や表面処理の性能の向上が見込め、可搬性に優れ、取り扱いが容易なプラズマを利用可能なプラズマ発生装置を得ることである。
【解決手段】本発明のプラズマ発生装置100は、蒸気プラズマを生成する蒸気プラズマ生成手段110と、蒸気プラズマを吐出するノズル120とを備え、蒸気プラズマ生成手段110は、1以上の電極111a、112aを含む筐体110aと、1以上の電極によって放電が発生するように1以上の電極に電圧を印加する電圧印加手段110bと、供給源から1以上の電極が存在する域に液体を供給する供給管110cと、液体を気化して蒸気を生成する蒸気生成手段110dとを備え、筐体内で1以上の電極による放電により前記蒸気をプラズマ化して前記蒸気プラズマを生成する。
【選択図】図1
請求項（抜粋）：
蒸気プラズマを生成する蒸気プラズマ生成手段と、
前記蒸気プラズマを吐出するノズルと
を備え、
前記蒸気プラズマ生成手段は、
1つ以上の電極を含む筐体と、
前記1以上の電極によって放電が発生するように前記1以上の電極に電圧を印加する電圧印加手段と、
供給源から前記1以上の電極が存在する近傍領域に液体を供給する供給管と、
前記液体を気化して蒸気を生成する水蒸気生成手段と
を備え、
前記筐体内で前記1以上の電極による放電により前記蒸気をプラズマ化して前記蒸気プラズマを生成する、プラズマ発生装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (18件)：
2G084AA25
, 2G084BB22
, 2G084CC02
, 2G084CC03
, 2G084CC12
, 2G084CC13
, 2G084CC14
, 2G084CC19
, 2G084CC22
, 2G084CC35
, 2G084FF12
, 2G084FF32
, 2G084GG07
, 2G084GG18
, 4C058AA01
, 4C058BB06
, 4C058KK06
, 4C058KK50
