特許
J-GLOBAL ID：202403012537329328
プラズマ照射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
山本 秀策
, 森下 夏樹
, 飯田 貴敏
, 石川 大輔
, 山本 健策
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2023-181113
特許番号：特許第7422448号
出願日： 2023年10月20日
要約：
【課題】本発明の課題は、プラズマ噴射ノズル内部に液体の侵入を防止しつつ、対象物にプラズマを照射することができるプラズマ照射装置を得ることである。
【解決手段】本発明のプラズマ照射装置100は、プラズマまたは前記プラズマにより生成される活性種の双方またはいずれか一方を含む活性ガスを対象物に照射するためのプラズマ照射装置であって、供給されたガスのプラズマを発生させるための電極を備えた照射ノズル110と、照射ノズルを覆うカバー部材120とを含み、カバー部材120は、一端部124aに対象物周辺に存在する液体が照射ノズル110の噴出口110bへと侵入するのを遮断する閉鎖部材123を備え、閉鎖部材123を介して、カバー部材120の内部で生成されるプラズマに対して弱いプラズマが生成されるように構成されている。
【選択図】図1
請求項（抜粋）：
【請求項1】 プラズマまたは前記プラズマにより生成される活性種の双方またはいずれか一方を含む活性ガスを対象物に照射するためのプラズマ照射装置であって、 供給されたガスのプラズマを発生させるための電極を備えた照射ノズルと、 前記照射ノズルを覆うカバー部材と を含み、 前記カバー部材は、一端部に前記対象物周辺に存在する液体が前記照射ノズルの噴出口へと侵入するのを遮断する閉鎖部材を備え、 前記閉鎖部材を介して、前記カバー部材の内部で生成されるプラズマに比べて弱いプラズマが生成されるように構成されている、プラズマ照射装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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