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J-GLOBAL ID:202502265281310442   整理番号:25A2750774

PMUTを用いた近接覚/接触覚マルチセンサの開発-背面キャビティ体積減少による共振周波数への影響-

著者 (8件): ,  ,  ,  ,  ,  ,  , 
資料名:
巻: 2025  ページ: 140-141  発行年: 2025年06月25日 
JST資料番号: L6024A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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本研究では,ロボットハンドに取り付け可能な近接覚センサとして,圧電微小機械式超音波トランスデューサ(PMUT)を採用し,接触時に背面キャビティ体積を減少させる機構を組み合わせることで,同時に接触力も測定可能であるシステムを提案した.本稿では,有限要素法を用いた解析を行い,背面キャビティ体積が減少することで共振周波数が変化することを理論的に証明し実験値を比較することで,このシステムの有用性を示した.(著者抄録)
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (1件):
分類
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固体デバイス製造技術一般 

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