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J-GLOBAL ID：202502271875310981   整理番号：25A0410790

新しい大気圧低温プラズマ装置の開発と表面処理等への応用

著者 (5件)： 八井田朱音 (東京科大) ,  古谷淳之介 (東京科大) ,  大澤泰樹 (東京科大) ,  清水祐哉 (東京科大) ,  沖野晃俊 (東京科大)
資料名： クリーンテクノロジー  (Clean Technology)
巻： 35  号： 2  ページ： 34-37  発行年： 2025年02月10日 
JST資料番号： L1138A  ISSN： 0917-1819  CODEN： KTEKER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・大気圧低温プラズマによる材料表面のクリーニングおよび表面改質,表面付着物の高感度分析について解説。
・大気圧低温プラズマ処理によるアルミニウムとポリイミドテープの接着力向上,各種ガスのプラズマ処理によるPTFEの接着力向上,歯科用ジルコニアと歯科用セメントの接着力向上を確認。
・生体や植物などの表面に付着する化学物質,薬剤,残留農薬などの大気圧低温プラズマ処理による非接触分析。
・大気圧リニア型プラズマ装置の開発と,半導体製造プロセスやクリーンルームに対応した各種ガスの大気圧低温プラズマ処理方法の開発。

シソーラス用語： *大気圧低温プラズマ ,  *プラズマ処理 ,  *表面改質 ,  接着強さ ,  ポリイミド ,  ポリテトラフルオロエチレン ,  酸化ジルコニウム ,  *表面分析 ,  生体試料 ,  食品試料 ,  非接触測定 ,  半導体プロセス ,  クリーンルーム ,  プラズマ装置
準シソーラス用語： クリーニング効果

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  その他の表面処理  (WC08070F)

タイトルに関連する用語 (4件)： 大気圧低温プラズマ ,  開発 ,  表面処理 ,  応用