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J-GLOBAL ID：202502281345570291   整理番号：25A0736009

RHEED機械学習解析によるMBE成膜支援システムの構築

Development of MBE film-growth support system by machine-learning RHEED analysis

著者 (9件)： 大澤俊郎 (東理大 先進工) ,  大澤俊郎 (物材研) ,  吉成朝子 (東理大 先進工) ,  吉成朝子 (物材研) ,  安藤康伸 (東工大 化生研) ,  松村太郎次郎 (産業技術総合研) ,  小嗣真人 (東理大 先進工) ,  永村直佳 (東理大 先進工) ,  永村直佳 (物材研)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 85th  ページ： ROMBUNNO.20p-A21-11  発行年： 2024年09月04日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 近年、半導体デバイスの高性能化・小型化の要求に伴い、二次元機能性薄膜が益々注目を集めている。制御性のよい二次元薄膜成膜手法である分子線エピタキシー法(MBE)では反射高速電子回折(RHEED)を用いて構造や膜厚の評価を行うことが多いが、RH...【本文一部表示】

シソーラス用語： 相転移 ,  半導体素子 ,  標準偏差 ,  インジウム ,  輝度 ,  小型化 ,  二次元 ,  MBE成長 ,  蒸着 ,  *RHEED ,  *機械学習 ,  CCDカメラ ,  構造変化 ,  *薄膜形成
準シソーラス用語： 超構造 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： その他の計算機利用技術  (JE14000C) ,  トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (7件)： RHEED ,  機械学習 ,  解析 ,  MBE ,  成膜 ,  支援システム ,  構築