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J-GLOBAL ID：202502288046271889   整理番号：25A0224423

Cr-N薄膜横感度を利用した触覚センサ用カンチレバー小型化のための最適平面形状の検討

Optimal planar shape for miniaturization of cantilevers for tactile sensors using Cr-N thin film lateral sensitivity

著者 (6件)： 長野透也 (新潟大) ,  木下萌香 (新潟大) ,  水戸部龍介 (新潟大) ,  安部隆 (新潟大) ,  丹羽英二 (電磁材料研) ,  寒川雅之 (新潟大)
資料名： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 41st  ページ： ROMBUNNO.25P4-PS-37  発行年： 2024年11月18日 
JST資料番号： X0768B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・本研究では,人間と同等,それを超える空間分解能を持つ触覚機...

シソーラス用語： 薄膜 ,...
準シソーラス用語： *カンチレバー ,...

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分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  その他の感覚  (EJ13040X)

タイトルに関連する用語 (7件)： Cr ,  薄膜 ,  感度 ,  触覚センサ ,  カンチレバー ,  小型化 ,  平面形状