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J-GLOBAL ID：202502298852703509   整理番号：25A2110206

PLD法で作製した厚膜磁石の成膜領域の拡大化

Enlargement in Deposition Area of PLD-Made Thick-Film Magnets

著者 (6件)： 中野正基 (長崎大学 総合生産科学域(工学系)) ,  田原楽飛 (長崎大学 総合生産科学域(工学系)) ,  東倖主 (長崎大学 総合生産科学域(工学系)) ,  進士忠彦 (東京科学大学 総合研究院 未来産業技術研究所) ,  山下昂洋 (長崎大学 総合生産科学域(工学系)) ,  柳井武志 (長崎大学 総合生産科学域(工学系))
資料名： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻： 145  号： 7  ページ： 217-221(J-STAGE)  発行年： 2025年 
JST資料番号： S0808A  ISSN： 0385-4205  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 時間当たり数十ミクロンよりも高い成膜速度のパルスレーザ蒸着(PLD)で作製したNd-Fe-B厚膜磁石をDCブラシレスモータと小型ステッピングモータに適用したが,成膜領域の拡大に伴い膜厚分布が増大するため,成膜領域は5mm²以内に制限されていた。本研究では,ガルバノメータ鏡を用いたレーザ走査と成膜時の基板の傾斜設置を採用した。10mm角まで成膜領域を拡大すると,厚さ分布だけでなく組成分布も抑制できることが分かった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *パルスレーザ蒸着 ,  *厚膜磁石 ,  *ガルバノミラー ,  *膜厚分布 ,  光走査 ,  分布
準シソーラス用語： PLD【蒸着】 ,  レーザ走査 ,  組成分布

著者キーワード (8件)： PLD (Pulsed Laser Deposition) ,  厚膜磁石 ,  ガルバノミラー ,  膜厚分布 ,  PLD (Pulsed Laser Deposition) ,  thick-film magnets ,  Galvano mirror ,  thickness distribution

分類 (2件)： 電磁石  (NA05080G) ,  磁性材料  (NA04040H)

引用文献 (17件)：

• (1) S. Yamashita and J. Yamasaki : “Anisotropic Nd-Fe-B thin-film magnets for a milli-size motor”, J. Appl. Phys., Vol. 70, No. 15, pp. 6627-6629 (1991)
• (2) N. M. Dempsey, A. Walther, F. May, D. Givord, K. Khlopkov, and O. Gutfleisch : “High performance hard magnetic NdFeB thick films for integration into micro-electro-mechanical systems”, Appl. Phys. Lett., Vol. 90, #092509 (2007)
• (3) 小峠竜也・藤田孝之・田中祐至・上原 稔・神田健介・樋口行平・前中一介:「NdFeBスパッタ薄膜の微細加工と応用デバイス」, 電気学会マグネティクス研資, Vol. 169, pp. 7-11 (2012)
• (4) R. Fujiwara, T. Shinshi, and M. Uehara : “Positioning characteristics of a MEMS linear motor utilizing a thin film permanent magnet and DLC coating”, Int. J. Automot. Technol., Vol. 7, No. 2, pp. 148-155 (2013)
• (5) M. Nakano, S. Sato, F. Yamashita, T. Honda, J. Yamasaki, K. Ishiyama, M. Itakura, J. Fidler, T. Yanai, and H. Fukunaga : “Review of Fabrication and Characterization of Nd-Fe-B Thick Films for Magnetic Machines”, IEEE Trans. Magn., Vol. 43, No. 6, pp. 2672-2676 (2007)

タイトルに関連する用語 (5件)： PLD法 ,  作製 ,  厚膜磁石 ,  成膜 ,  拡大