特許

J-GLOBAL ID：202503005989356919

酸化物薄膜、およびその酸化物薄膜を含む誘電体素子

発明者： 傅 杰 ,  嶋村 圭介 ,  八木 俊剛 ,  舟窪 浩 ,  白石 貴久 ,  岡本 一輝 ,  中村 美子
出願人/特許権者： 株式会社オハラ ,  国立大学法人東京科学大学
代理人 (3件)： 右田 俊介 ,  高橋 政治 ,  水野 基樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2023-194904
公開番号（公開出願番号）：特開2025-081855
出願日： 2023年11月16日
公開日（公表日）： 2025年05月28日
要約：

【課題】高い比誘電率を有しながらも高温においても静電容量の変化率が小さい酸化物薄膜等を提供する。 【解決手段】上記課題を解決するための酸化物被膜は、主結晶相として、Wadsley-Roth構造を有する酸化物の結晶相を含み、25°Cにおいて周波数0.1kHz以上100kHz以下における比誘電率が125以上であることを特徴とする。 【選択図】なし

請求項（抜粋）：

主結晶相として、Wadsley-Roth構造を有する酸化物の結晶相を含み、 25°Cにおいて周波数0.1kHz以上100kHz以下における比誘電率が125以上である、酸化物薄膜。

IPC (6件)：

C23C 14/08 ,  H01B 3/00 ,  H01G 4/30 ,  H01G 4/33 ,  H01G 5/013 ,  H01G 7/06

FI (6件)：

C23C14/08 K ,  H01B3/00 F ,  H01G4/30 544 ,  H01G4/33 102 ,  H01G5/013 300 ,  H01G7/06

Fターム (34件)：

4K029BA02 ,  4K029BA16 ,  4K029BA43 ,  4K029BA50 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K029DB20 ,  4K029DC05 ,  4K029DC08 ,  5E001AB06 ,  5E001AE00 ,  5E001AE04 ,  5E082AB01 ,  5E082FF05 ,  5E082FG03 ,  5E082FG27 ,  5E082FG42 ,  5E082PP10 ,  5G303AA01 ,  5G303AB06 ,  5G303AB11 ,  5G303BA03 ,  5G303CA01 ,  5G303CB01 ,  5G303CB03 ,  5G303CB06 ,  5G303CB21 ,  5G303CB24 ,  5G303CB30 ,  5G303CB33 ,  5G303CB36 ,  5G303CB38 ,  5G303CB42 ,  5G303DA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 非還元性誘電体セラミック、セラミック電子部品および積層セラミックコンデンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-002261   出願人：株式会社村田製作所