研究者
J-GLOBAL ID:200901025110841826
更新日: 2013年07月17日
門馬 正
モンマ タダシ | Momma Tadashi
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ホームページURL (1件):
http://www.ee.seikei.ac.jp/~momma/index.html
研究分野 (1件):
電子デバイス、電子機器
研究キーワード (2件):
電子デバイス・機器工学
, Electron Devices and Apparatus Engineering
競争的資金等の研究課題 (2件):
ClF
3
エッチングによるシリコン太陽電池のテクスチャ化
Texture of Silicon Solar Cell by ClF
3
Etching
MISC (15件):
三ふっ化塩素を用いたシリコンのテクスチャ化と光学的評価. 電子情報通信学会C-II論文誌. 1997. J80〜C-II. 11. 412
スパッタ法による酸化亜鉛薄膜形成時における酸素欠損の発生. 電子情報通信学会C-II論文誌. 1997. J80〜C-II. 3. 115
Texturization of Si Surface with ClF
3
Gas. THE TRANSACTIONS OF THE INSTITUTE OF ELECTRONICS, INFORMATION AND COMMUNICATION ENGINEERS C-II. 1997. J80〜C-II. 11. 412
Generation of Oxygen Vacancies in Zine Oxide Films During Sputtering Process. THE TRANSACTIONS OF INSTITUTE OF ELECTRONICS, INFORMATION AND COMMUNICATION ENGINEERS C-II. 1997. J80〜C-II. 3. 115
三フッ化塩素処理シリコンの表面形状と光学的評価. 信学情報SDM96-159. 1996
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学歴 (2件):
- 1972 東京電機大学 工学部 電気通信工学科
- 1972 東京電機大学
経歴 (1件):
成蹊大学 理工学部 エレクトロメカニクス学科 助手
所属学会 (2件):
応用物理学会
, 映像情報メディア学会
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