研究者
J-GLOBAL ID:200901065070895385
更新日: 2024年04月17日
武田 文雄
タケダ フミオ | Takeda Fumio
所属機関・部署:
旧所属 富山工業高等専門学校 電気工学科
旧所属 富山工業高等専門学校 電気工学科 について
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職名:
教授
研究分野 (1件):
電気電子材料工学
研究キーワード (6件):
薄膜
, 形状記憶合金
, スパッター
, Thin Film
, Figure Memory Alloy
, Sputter
競争的資金等の研究課題 (6件):
スパッタによるNi-Ti形状記憶合金膜の作成
組成制御スパッタの研究
スパッタによる強誘電体膜の作成
Fabrication of Ni-Ti Figure Memory Alloy Film.
Study on Composition Control by Sputtering
Fabrication of Ferroelectric Films by Sputtering
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MISC (13件):
Dependence of Composition Distribution of NiTi Sputtered Films on Ar Gas Pressure. Jpn. J. Appl. Phys. 2001. 40(12), 6936-6940
Dependence of Composition Distribution of NiTi Sputtered Films on Ar Gas Pressure. Jpn. J. Appl. Phys. 2001. 40(12), 6936-6940
複合ターゲットを用いてスパッタにより形状記憶合金膜を作成する際の組成制御. 日本応用物理学会. 2000. 39. 10. 5992-5994
Composition Control of NiTi Snape Memory Alloy Films Formed by Sputter Deposition with a Composite Target. Jpn. J. Appl. Phys. 2000. 39. 10. 5992-5994
Composition Control of NiTi Shape Memory Alloy Films by Sputtering. The Fifth International Symposium on Sputtering and plasma processes(ISSP'99). 1999. 75-76
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書籍 (1件):
日本薄膜年鑑1990/1991年度版
日本工業技術振興協会 1991
学歴 (4件):
- 1968 金沢大学 工学研究科 電気工学
- 1968 金沢大学
- 1966 金沢大学 工学部 電気工学科
- 1966 金沢大学
学位 (1件):
工学博士 (京都大学)
経歴 (2件):
富山大学 非常勤講師
富山大学
所属学会 (3件):
日本金属学会
, 日本応用物理学会
, 電気学会
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