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J-GLOBAL ID：200902154693014319   整理番号：01A0052314

複合材料標的を使うスパッタ蒸着によって形成したNiTi形状記憶合金薄膜の組成制御

Composition Control of NiTi Shape Memory Alloy Films Formed by Sputter Deposition with a Composite Target.

著者 (3件)： TAKEDA F (Toyama National Coll. Technol., Toyama, JPN) ,  YAMAZAKI T (Toyama Univ., Toyama, JPN) ,  NAKAJIMA T (Toyama National Coll. Technol., Toyama, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 39  号： 10  ページ： 5992-5994  発行年： 2000年10月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マグネトロンスパッタリングによってNiTi形状記憶合金薄膜を...

シソーラス用語： *スパッタ蒸着 ,...

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分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

引用文献 (9件)：

• 1) S. Miyazaki and A. Ishida: Mater. Trans. JIM 35 (1994) 14.
• 2) J. D. Busch, A. D. Johnson, C. H. Lee and D. A. Stevenson: J. Appl. Phys. 68 (1990) 6224.
• 3) F. E. Wang, W. J. Buehler and S. T. Pickert: J. Appl. Phys. 36 (1965) 3232.
• 4) A. Ishida, A. Takei and S. Miyazaki: Thin Solid Films 228 (1993) 210.
• 5) F. Takeda and T. Nakajima: Thin Solid Films 316 (1998) 68.

タイトルに関連する用語 (7件)： 複合材料 ,  標的 ,  スパッタ蒸着 ,  NiTi ,  形状記憶 ,  合金薄膜 ,  組成制御