研究者
J-GLOBAL ID:200901074851194721   更新日: 2024年02月06日

豊田 光紀

トヨダ ミツノリ | Toyoda Mitsunori
所属機関・部署:
職名: 教授
ホームページURL (2件): https://portal.kougei.net/kg/japanese/researchersHtml/40375168/40375168_Researcher.htmlhttp://db.tohoku.ac.jp/whois/e_detail/d25e00cbec0739057e977e2475a88be3.html
研究分野 (1件): 光工学、光量子科学
競争的資金等の研究課題 (11件):
  • 2020 - 2023 高分解能50nm結像を実現する斜入射軟X線多層膜ミラー光学系の開発
  • 2019 - 2022 EUV波面シンセサイザの開発と実時間・超深度ナノイメージングへの応用
  • 2017 - 2021 円偏光フェムト秒コヒーレント軟X線の発生と超高速スピンダイナミクスへの展開
  • 2016 - 2019 レーザープラズマ光源EUV顕微鏡の開発と広視野マルチスケール観察への応用
  • 2016 - 2018 サブ100nm集光で非摂動論的な非線形現象を励起するXUV用集光ミラーの開発
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論文 (49件):
  • Shuntaro Waki, Takayuki Uchida, Jun Chen, Mitsunori Toyoda. High-irradiance illumination system for transmission extreme ultraviolet microscopy. Japanese Journal of Applied Physics. 2023
  • 豊田光紀. 極紫外多層膜ミラー光学系による回折限界結像とポリマーブレンドの無染色観察への展開. 日本放射光学会誌. 2022. 35. 6. 327
  • Masato Shibuya, Takao Tanabe, Mitsunori Toyoda. Conservation of energy between pupil and image for point spread function. Optik. 2022. 249
  • Tetsuo Harada, Shinji Yamakawa, Mitsunori Toyoda, Takeo Watanabe. Development of a high-power EUV irradiation tool in a hydrogen atmosphere. Japanese Journal of Applied Physics. 2021. 60. 8. 087005-087005
  • Mitsunori Toyoda, Ryo Yokoyama, Shuntaro Waki, Toshiyuki Kakudate, Jun Chen. Removal of Mo/Si multilayer coatings on fused silica substrates by wet chemical etching. Applied Physics Express. 2021. 14. 5
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MISC (87件):
特許 (63件):
学歴 (3件):
  • - 2007 東北大学 大学院工学研究科・応用物理学専攻 (論文博士)
  • 1997 - 1999 東北大学 大学院工学研究科・応用物理学専攻
  • 1993 - 1997 東北大学 工学部・応用物理学科
学位 (1件):
  • 博士(工学) (東北大学)
経歴 (8件):
  • 2022/04 - 現在 東京工芸大学 工学部 教授
  • 2022/04 - 2023/03 Institut d'Optique Graduate School, Laboratoire Charles Fabry, Professeur invité
  • 2018/04 - 2022/03 東京工芸大学 工学部 准教授
  • 2018/04 - 2020/03 東北大学 多元物質科学研究所 客員准教授
  • 2007/04 - 2018/03 東北大学 多元物質科学研究所 助教
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