光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：大野聖二 , 小林英了 , 松野知紘 , 酒谷誠一 , 野本裕史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-160467
公開番号（公開出願番号）：特開2017-227906
出願日： 2017年08月23日
公開日（公表日）： 2017年12月28日
要約：

【課題】光量損失を良好に抑えつつ、周方向偏光状態の輪帯状の照明瞳分布を形成することのできる照明光学装置。【解決手段】本発明の照明光学装置は、入射光束に基づいて所定面に輪帯状の光強度分布を形成するための光束変換素子(50)を備えている。光束変換素子は、旋光性を有する光学材料により形成されて、入射光束に基づいて輪帯状の光強度分布のうちの第1円弧状領域分布を形成するための第1基本素子(50A)と、第2円弧状領域分布を形成するための第2基本素子(50B)と、第3円弧状領域分布を形成するための第3基本素子(50C)と、第4円弧状領域分布を形成するための第4基本素子(50D)とにより構成されている。各基本素子は光の透過方向に沿った厚さが互いに異なる。【選択図】図11

請求項（抜粋）：

入射光束に基づいて所定面に所定の光強度分布を形成するための光束変換素子において、旋光性を有する光学材料により形成されて、前記入射光束に基づいて前記所定の光強度分布のうちの第1領域分布を形成するための第1基本素子と、旋光性を有する光学材料により形成されて、前記入射光束に基づいて前記所定の光強度分布のうちの第2領域分布を形成するための第2基本素子と、を備え、前記第1基本素子と前記第2基本素子とは、光の透過方向に沿った厚さが互いに異なることを特徴とする光束変換素子。

IPC (2件)：

G03F 7/20 , G02B 19/00

FI (3件)：

G03F7/20 501 , G03F7/20 521 , G02B19/00

Fターム (18件)：

2H052BA02 , 2H052BA09 , 2H052BA12 , 2H197AA06 , 2H197AA09 , 2H197AA12 , 2H197AA44 , 2H197BA06 , 2H197BA08 , 2H197BA09 , 2H197BA10 , 2H197CA01 , 2H197CA06 , 2H197CB16 , 2H197CB17 , 2H197HA03 , 2H197HA05 , 2H197HA10

引用特許：

審査官引用 (9件)

特許第4976015号
照明装置及びそれを用いた投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-360795 出願人：キヤノン株式会社
露光装置および露光方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-075624 出願人：株式会社日立製作所

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