森克巳

モリカツミ | Mori Katsumi

研究分野 (3件)：薄膜、表面界面物性 , 結晶工学 , 応用物性

研究キーワード (4件)：荷電ビーム微細加工 , 半導体 , Beam assisted micro fabrication , Semiconductor

競争的資金等の研究課題 (2件)：

MISC (6件)：

電子ビームCVDによるダイアモンド膜の微細加工. 2002. 17. 1096-1100
Micro fabrication of diamond films by localized electron beam CVD. Semiconductor Science and Technology. 2002. 17. 1096-1100
電子ビームリソグラフィによるダイアモンド膜の微細パターン形成. 2000. 39. 7B. 4532
電子ビームによるダイアモンドへの微細パターン形成. ニューダイアモンドフォーラム学術委員会. 2000
Kiyohara Shuji, Ayano Kenjiro, Abe Takahisa, Mori Katsumi. Micropatterning of Chernical-Vapor-Deposited Diamond Films in Electron Beam Lithography. Japanese Journal of Applied Physics. 2000. 39. 7B. 4532-4535

書籍 (4件)：

Works (2件)：

学位 (1件)：

所属学会 (2件)：

表面科学会 , 応用物理学会

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森 克巳