文献
J-GLOBAL ID:200902169710421842   整理番号:00A0795825

電子ビームリソグラフィーでの化学蒸着ダイヤモンド膜のマイクロパターン化

Micropatterning of Chernical-Vapor-Deposited Diamond Films in Electron Beam Lithography.
著者 (4件):
資料名:
巻: 39  号: 7B  ページ: 4532-4535  発行年: 2000年07月30日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
電子ビームリソグラフィーを用いたCVDダイヤモンド膜のマイク...
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ(有料)でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
,...
   続きはJDreamIII(有料)にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=00A0795825&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0520B") }}
分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
固体デバイス製造技術一般  ,  その他の無機化合物の薄膜 
引用文献 (10件):
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです

前のページに戻る