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J-GLOBAL ID:200902147481417379   整理番号:02A0847371

局在電子ビーム化学蒸着法によるダイヤモンド薄膜の微細加工

Microfabrication of diamond films by localized electron beam chemical vapour deposition.
著者 (3件):
資料名:
巻: 17  号: 10  ページ: 1096-1100  発行年: 2002年10月 
JST資料番号: E0503B  ISSN: 0268-1242  CODEN: SSTEET  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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ダイヤモンドは圧子や切削工具として主に用いられているが,近い...
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