研究キーワード (6件):
無機材料・物性
, 電子デバイス・機器工学
, 電子・電気材料工学
, Inorganic Material and Properties
, Electron device and Machineries Engineering
, Electronic and Electrical Material Engineering
競争的資金等の研究課題 (12件):
簡単なアナログ、デジタル集積回路の試作および設計教育
プラズマベースイオン注入法を用いた表面改質、薄膜形成および滅菌
白色LEDを用いた看板、標識システム
集積回路とマイクロマシーニングの基礎研究
太陽電池式LED発光型標識システム開発
金属、金属窒化物および金属酸化物のスパッタリングに関する研究
preliminaly Integrated Circuits dosing
Preparation of thin films by using Plasma based lon implantation.
Analysis of thin films by using XPS
Fundamental study on integrated circuits and micro-machining
Development of Road traffic sign system using LED emission with solar cell
Study on,hitride,and oxide metal films by sputlering.
XPS profilography through angle resolved spectra(共著)
Abstracts of ELECTRONICA 1998
Textured surface analysis by x-ray photoelectron spectroscopy(共著)
Abstracts of ELECTRONICA 1998
電子デバイス-物性からICまで-
産業図書株式会社 1997
Stoichiometry control in r. f-d. c. coupled magnetron sputtering of AlNx(共著)
Proc. 5th Int. Conf. on Electron Beam Technologies 1997
X-ray Photoelectron Spectroscopy Measurements of TiNx Films and Ti Target Surface Nitrided by r. f. -d. c. Coupled Reactive Magnetron Sputtering(共著)
Proc. 5th Int. Conf. on Electron Beam Technologies 1997