研究者
J-GLOBAL ID:200901003931892107
更新日: 2020年05月08日
本保 栄治
ホンボ エイジ | Honbo Eiji
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所属機関・部署:
富山県産業技術研究開発センター 機械電子研究所 電子デバイス技術課
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職名:
副主幹研究員
研究分野 (3件):
無機材料、物性
, 電気電子材料工学
, 薄膜、表面界面物性
研究キーワード (5件):
電気物性
, 薄膜
, 光デバイス
, thin film
, optical device
競争的資金等の研究課題 (4件):
2000 - 2003 プラズマによる機能性薄膜
薄膜の光学的応用
Thin film deposition by plasma process
Optical applications of thin film
MISC (9件):
M Nose, Y Deguchi, E Honbo, WA Chiou, T Mae, K Nogi. Influence of target material on the microstructure and properties of Ti-Si-N coatings prepared by r.f.-reactive sputtering. MATERIALS TRANSACTIONS. 2005. 46. 8. 1911-1917
野瀬正照, 鈴木宏章, 奥村善雄, 本保栄治, 前健彦, 穴田博, 野城清. 反応性スパッタ法によるTi-Al-Si-Nナノコンポジット膜の作製. 粉体および粉末冶金. 2004. 51. 11. 802-807
M Nose, Y Deguchi, T Mae, E Honbo, T Nagae, K Nogi. Influence of sputtering conditions on the structure and properties of Ti-Si-N thin films prepared by r.f.-reactive sputtering. SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY. 2003. 174. 261-265
E Honbo, M Miyata, Y Kato, S Ishii. Application of electron cyclotron resonance plasma in arched magnetic mirrors to deposition of TiO2 thin films. REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS. 2002. 73. 2. 843-845
E Honbo, M Miyata, Y Kato, S Ishii. Application of electron cyclotron resonance plasma in arched magnetic mirrors to deposition of TiO2 thin films. REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS. 2002. 73. 2. 843-845
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学位 (2件):
理学修士 (新潟大学)
博士(工学) (富山県立大学)
所属学会 (3件):
電気化学会
, 日本応用物理学会
, 日本セラミックス協会
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