研究者
J-GLOBAL ID：200901042204399509   更新日: 2022年09月29日

池澤 俊治郎

イケザワ シュンジロウ | Ikezawa Shunjiro
所属機関・部署：
中部大学 工学部 電子情報工学科

中部大学 工学部 電子情報工学科 について


職名： 教授
研究分野 (3件)： 電子デバイス、電子機器 ,  プラズマ科学 ,  プラズマ応用科学
研究キーワード (4件)： 電子デバイス・機器工学 ,  プラズマ理工学 ,  Electron Device and Apparatus Engineering ,  Plasma Science and Technology
競争的資金等の研究課題 (6件)：
  • EBEP装置によるプロセスプラズマ粒子の選択性とその場制御
  • 電子ビームのプラズマシース電位への影響
  • 表面波プラズマにおける新しい展開
  • Selective and In-Situ Controlled Processing Plasmas Particles by EBEP and Q-Mass and Optical Measurements
  • Influence of Electron Beam on Plasma Sheath Potential
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MISC (45件)：
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特許 (1件)：
  • プラズマ発生用アンテナ・プラズマ処理装置, プラズマ処理方法, 及び被処理物の製造方法, 並びに半導体装置の製造方法 特願2000-279955
書籍 (2件)：
  • 高密度プラズマ応用プロセス技術(第1章 プラズマプロセスの基礎(P1-26)執筆)
    (株)リアライズ社 1993
  • 電波工学概説
    (株)森北出版 1989
Works (2件)：
  • 電子ビーム励起プラズマを用いた新機能材料創製プロセスの開発
    2000 -
  • Development of New Material Process Using Electron Beam-Excited Plasma
    2000 -
学位 (1件)：
  • 工学博士
委員歴 (4件)：
  • 1996 - 1997 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス幹事
  • 1992 - 1994 プラズマ・核融合学会 編集委員・第11回年会実行委員長
  • 1991 - 1992 電気学会 東海支部若手セミナー代表
  • 1989 - 1991 日本物理学会 分科の世話人
所属学会 (5件)：
応用物理学会 ,  電子情報通信学会 ,  プラズマ・核融合学会 ,  日本物理学会 ,  電気学会
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