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J-GLOBAL ID：200902108719463786   整理番号：02A0865393

EBEPにより成長させたTiO2およびTiN膜の工業的利用

Industrial applications of TiO2 and TiN films deposited by EBEP.
著者 (6件)：
HOMYARA H

HOMYARA H について

(Chubu Univ., Aichi, JPN)

Chubu Univ., Aichi, JPN について

, 
IKEZAWA S

IKEZAWA S について

(Chubu Univ., Aichi, JPN)

Chubu Univ., Aichi, JPN について

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UMENO M

UMENO M について

(Chubu Univ., Aichi, JPN)

Chubu Univ., Aichi, JPN について

, 
YOSHIMURA K

YOSHIMURA K について

(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN)

National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN について

, 
TAODA H

TAODA H について

(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN)

National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN について

, 
HARA T

HARA T について

(Toyota Technological Inst., Nagoya, JPN)

Toyota Technological Inst., Nagoya, JPN について


資料名：
Proceedings of International Symposium on Dry Process  (Proceedings of International Symposium on Dry Process)

Proceedings of International Symposium on Dry Process について


巻： 2nd  ページ： 159-164  発行年： 2002年10月10日 
JST資料番号： Y0378B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
シソーラス用語：
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電子ビーム

電子ビーム について

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分類 (1件)：
分類
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薄膜成長技術・装置 
(BK14020I)

薄膜成長技術・装置 について

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タイトルに関連する用語
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成長

成長 について

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TiO2

TiO2 について

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TiN膜

TiN膜 について

, 
工業

工業 について


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