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J-GLOBAL ID：201802260100325063   整理番号：18A2020323

大電力パルススパッタ法によるスピント型陰極作製における放電ガス(アルゴン,クリプトン)の効果

Effects of discharge gas species (Ar, Kr) on fabrication of Spindt type emitter cathode using high power pulsed magnetron sputtering

著者 (6件)： 谷口日向 (成蹊大 理工) ,  大家渓 (成蹊大 理工) ,  中野武雄 (成蹊大 理工) ,  長尾昌善 (産業技術総合研) ,  大崎壽 (産業技術総合研) ,  村上勝久 (産業技術総合研)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 118  号： 263(ED2018 26-31)  ページ： 5-8  発行年： 2018年10月17日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： スピント型エミッタは真空電子源のひとつである。この陰極は,上部にホールの開いた微細キャビティを基板上に形成し,ホールを通して陰極材料となる金属をキャビティ内部に堆積させて形成する。従来この堆積には真空蒸着法が用いられていたが,大面積化が困難,高融点金属では引っ張り応力緩和のために基板加熱が必要,などの制約があった。本研究では,粒子の入射方向やエネルギーの制御が可能な大電力パルススパッタ装置を用いた。高融点金属であるMoの陰極を形成できたが,逆に圧縮応力が強くなって膜が剥がれることが多く,デバイスを安定して作製することが困難であった。本研究では放電ガスにKrを用いて内部応力の緩和を試み,Arの場合と比較した。また基板に様々な値の負電圧を印加し,膜に生じる内部応力や陰極構造に与える影響について評価した。(著者抄録)

シソーラス用語： 内部応力 ,  *スパッタリング ,  *電力 ,  電極材料 ,  圧縮応力 ,  モリブデン ,  クリプトン ,  *電界放出アレイ ,  アスペクト比
準シソーラス用語： 陰極材料 ,  *大電力

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (9件)：

• C. A. Spindt, ′′A thin-film field-emission cathode′′, J. Appl. Phys., Vol. 39, pp. 3504-3505, 1968.
• S. Itoh, M. Tanaka, ′′Current status of field-emission displays′′, Proc. of IEEE, Vol. 90, Issue 4, pp.514-520, 2002.
• Y. Honda, M. Nanba, K. Miyakawa, M. Kubota, M. Nagao, Y. Neo, H. Mimura, and N. Egami, ′′Electrostatic-focusing image sensor with volcano-structured Spindt-type field emitter array,′′ J. Vac. Sci. Technol. B, Vol.34, No.2, 052201, 2016.
• M. Nagao, T. Yoshida, ′′Fabrication of gated nano electron source for vacuum nanoelectronics′′, Microelectron. Eng., Vol. 132, pp. 14-20, 2015.
• T. Nakano, T. Narita, K. Oya, M. Nagao, H. Ohsaki, ′′Fabrication of Mo microcones for double-volcano type Spindt emitter cathode using triode high power pulsed magnetron sputtering′′, J. Vac. Sci. Technol. B, Vol 35, Issue 2, 022204, 2017.

タイトルに関連する用語 (8件)： 大電力 ,  パルス ,  スパッタ法 ,  陰極 ,  作製 ,  放電ガス ,  アルゴン ,  クリプトン