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J-GLOBAL ID：202002228307982538   整理番号：20A2362806

室温における酸素中性粒子によるグラフェンのlayer-by-layer薄化の反応科学【JST・京大機械翻訳】

Reaction science of layer-by-layer thinning of graphene with oxygen neutrals at room temperature

著者 (8件)： Sugiura Hirotsugu (Graduate School of Engineering, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, 464-8603, Nagoya, Japan) ,  Kondo Hiroki (Center for Low-temperature Plasma Sciences, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, 464-8601, Nagoya, Japan) ,  Higuchi Kimitaka (Institute of Materials and Systems for Sustainability (IMaSS), Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, 464-8603, Nagoya, Japan) ,  Arai Shigeo (Institute of Materials and Systems for Sustainability (IMaSS), Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, 464-8603, Nagoya, Japan) ,  Hamaji Ryo (Graduate School of Engineering, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, 464-8603, Nagoya, Japan) ,  Tsutsumi Takayoshi (Center for Low-temperature Plasma Sciences, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, 464-8601, Nagoya, Japan) ,  Ishikawa Kenji (Center for Low-temperature Plasma Sciences, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, 464-8601, Nagoya, Japan) ,  Hori Masaru (Center for Low-temperature Plasma Sciences, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, 464-8601, Nagoya, Japan)
資料名： Carbon  (Carbon)
巻： 170  ページ： 93-99  発行年： 2020年 
JST資料番号： H0270B  ISSN： 0008-6223  CODEN： CRBNA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多層グラフェンにおける層および面内欠陥の制御は,グラフェンの異常な特性を利用するための鍵である。高密度酸素中性下での層ごとの薄層化を,高電圧透過電子顕微鏡内の遠隔酸素プラズマを用いた室温反応科学中にその場観察した。グラフェンのエッチング速度は基底面よりエッジで高かったが,エッチングは両方の位置から始まった。各エッチング層は電子エネルギー損失スペクトルにおけるプラズモン損失強度によって表された。遠隔酸素プラズマへの曝露後,多層グラフェンの電子回折パターンは明確な6倍回折パターンを維持した。Raman分光法は多層グラフェンにおける欠陥の形成を明らかにした。グラフェンエッチングに必要な酸素中性化合物の非熱反応を,その場透過型電子顕微鏡によって実証した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： エッチング ,  電子回折 ,  薄膜 ,  プラズモン ,  *酸素 ,  熱化学反応 ,  Raman分光法 ,  電子エネルギー損失スペクトル ,  プラズマエッチング ,  透過型電子顕微鏡 ,  *グラフェン
準シソーラス用語： 回折パターン ,  エッチング速度 ,  酸素プラズマ ,  多層グラフェン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： グラフェン ,  層毎間伐 ,  その場透過型電子顕微鏡観察 ,  Raman分光法 ,  遠隔プラズマエッチング

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 室温 ,  酸素 ,  中性粒子 ,  グラフェン ,  科学