研究者
J-GLOBAL ID:200901075404356184   更新日: 2003年12月11日

森 克巳

モリ カツミ | Mori Katsumi
所属機関・部署:
職名: 教授
研究分野 (3件): 薄膜、表面界面物性 ,  結晶工学 ,  応用物性
研究キーワード (2件): 荷電ビーム微細加工 ,  半導体
競争的資金等の研究課題 (1件):
  • ダイアモンドに関する微細加工の研究
MISC (3件):
  • 電子ビームCVDによるダイアモンド膜の微細加工. 2002. 17. 1096-1100
  • 電子ビームリソグラフィによるダイアモンド膜の微細パターン形成. 2000. 39. 7B. 4532
  • 電子ビームによるダイアモンドへの微細パターン形成. ニューダイアモンドフォーラム学術委員会. 2000
書籍 (2件):
  • 応用物理ハンドブック
    丸善 1990
  • エレクトロニクス材料
    オーム社 1981
Works (1件):
  • ダイアモンド加工技術に関する共同研究
    1995 -
学位 (1件):
  • 理学博士 (大阪大学)
所属学会 (2件):
表面科学会 ,  応用物理学会
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