研究者

J-GLOBAL ID：200901076082331780 更新日: 2022年09月12日

井上晴行

イノウエハルユキ | Inoue Haruyuki

所属機関・部署：
職名：助手

研究分野 (1件)：光工学、光量子科学

研究キーワード (2件)：応用光学 , Applied Optics

競争的資金等の研究課題 (4件)：

*
光散乱によるSiウエハ表面上の微粒子・微小欠陥の計測
*
Measurement of Ultra Fine Particles and Very Small Defects on the Si Wafer Surface Using a Light Scattering Method

MISC (20件)：

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学歴 (2件)：

- 1971 大阪工業大学工学部機械工学科
- 1971 大阪工業大学

学位 (1件)：

博士(工学) (大阪大学)

受賞 (3件)：

2003 - 精密工学賞
1995 - 精密工学会関西支部講演論文集
1995 - 精密工学会沼田記念論文賞

所属学会 (2件)：

応用物理学会 , 精密工学会

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