研究者
J-GLOBAL ID：200901080833492286   更新日: 2024年10月30日

堀川 剛

ホリカワ ツヨシ | Horikawa Tsuyoshi
所属機関・部署：
東京科学大学 工学院 電気電子系

東京科学大学 工学院 電気電子系 について


職名： 特任教授
ホームページURL (1件)： https://www.researchgate.net/profile/Tsuyoshi_Horikawa
研究分野 (3件)： 光工学、光量子科学 ,  薄膜、表面界面物性 ,  電子デバイス、電子機器
研究キーワード (21件)： DRAM ,  ゲート絶縁膜 ,  誘電緩和 ,  位相誤差 ,  リング共振器 ,  シリコン細線導波路 ,  光集積回路 ,  シリコンフォトニクス ,  電界効果トランジスタ ,  hafnium aluminate ,  hafnium silicate ,  hafnium oxide ,  barium strontium titanate ,  random telegraph noise ,  flicker noise ,  chemical vapor deposition ,  grain size effects ,  dielectric relaxation ,  gate dielectrics ,  field effect transistors ,  capacitors
論文 (181件)：
  • Moataz Eissa, Ryuya Sasaki, Tsuyoshi Horikawa, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama. Wafer and chip-level characterization of edge-coupled photonic integrated circuits by cascaded grating couplers and spot-size converters. Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers. 2024. 63. 7
  • Tsuyoshi Horikawa, Atsushi Kitamura, Masanori Yatani, Nobuhiko Nishiyama. Precise waveguide loss extraction using 300-mm wafer-level OFDR for optical process control monitoring. 2024 IEEE SILICON PHOTONICS CONFERENCE, SIPHOTONICS. 2024
  • Moataz Eissa, Ryuya Sasaki, Tsuyoshi Horikawa, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama. Coupling structure for enabling both wafer- and chip-level characterization of silicon photonic integrated circuits. 2024 IEEE SILICON PHOTONICS CONFERENCE, SIPHOTONICS. 2024
  • Takehiko Kikuchi, Munetaka Kurokawa, Naoki Fujiwara, Naoko Inoue, Takuya Mitarai, Hidenari Fujikata, Takuo Hiratani, Toshiyuki Nitta, Yuhki Itoh, Tohma Watanabe, et al. Monolithic integration of various-type III-V epitaxial structures on silicon-photonics platform using chip-on-wafer hydrophilic bonding process. 2024 IEEE SILICON PHOTONICS CONFERENCE, SIPHOTONICS. 2024
  • Weicheng Fang, Naoki Takahashi, Tsuyoshi Horikawa, Yoshitaka Ohiso, Ruihao Xue, Shunto Katsumi, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama. High-temperature and high-efficiency operation of a membrane optical link with a buried-ridge-waveguide bonded on a Si substrate. Optics Express. 2022. 30. 19. 34420-34428
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MISC (45件)：
  • 堀川剛, 北村敦, 八谷将典, 西山伸彦, 西山伸彦, 西山伸彦. OFDR法を用いたウェーハレベル光集積デバイス特性検査-細線導波路伝搬損失の高精度評価-. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2023. 84th
  • 堀川剛. 集積フォトニクスのエコシステムの状況と展望. 電子情報通信学会技術研究報告(Web). 2023. 123. 158(R2023 18-36)
  • 堀川剛, 西山伸彦, 西山伸彦, 西山伸彦. 導波路加工偏差モニタリングによる方向性結合器の分岐比ばらつき解析. 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2023. 70th
  • 村尾覚志, 堀川剛. マッハ・ツェンダ型シリコン光変調器のMMIにおける反射影響とOMA増強効果の発現に関する検討. 電子情報通信学会技術研究報告(Web). 2023. 123. 220(OCS2023 26-42)
  • 村尾覚志, 堀川剛. マッハ・ツェンダ型シリコン光変調器における異常OMA増強効果の発現と構造の提案. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2023. 84th
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特許 (78件)：
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書籍 (5件)：
  • 次世代高速通信に対応する光回路実装、デバイスの開発
    技術情報協会 2022 ISBN:9784861049019
  • 薄膜作製応用ハンドブック
    エヌ・ティー・エス 2020 ISBN:9784860436315
  • Low Frequency Noise Characterization in HfAlOx/SiO2 n-MOSFETs
    Electrochemical Society Proceeding 2004
  • Chemical vapor deposition technology of (Ba,Sr)TiO3 thin films for Gbit-scale dynamic random access memories
    1998 Mat Res Soc, Symposium on Ferroelectric Thin Films VII 1999
  • Degradation in (Ba,Sr)TiO3 thin films under DC and dynamic stress conditions
    1997 IEEE INTERNATIONAL RELIABILITY PHYSICS SYMPOSIUM PROCEEDINGS 1997
講演・口頭発表等 (162件)：
  • Extraction of Reflection Coefficient in Silicon Waveguides using Multiple Reflection Signals in OFDR
    (CLEO: Applications and Technology, CLEO: A and T 2024 in Proceedings CLEO 2024 - Part of Conference on Lasers and Electro-Optics 2024)
  • マッハ・ツェンダ型シリコン光変調器のアーム間不均衡によるチャープへの影響検討
    (電子情報通信学会大会講演論文集(CD-ROM) 2022)
  • マッハ・ツェンダ型シリコン光変調器のデュアル駆動によるチャープ可変量の理論的検討
    (応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2022)
  • マッハ・ツェンダ型シリコン光変調器の個別アーム吸収損失測定手法に対するアーム間分岐比ずれの影響検討
    (応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2022)
  • マッハ・ツェンダ型シリコン光変調器のアーム間不均衡によるOMAペナルティの評価
    (応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2021)
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学歴 (2件)：
  • - 1985 京都大学 理学研究科 化学専攻
  • - 1983 静岡大学 理学部 化学科
学位 (1件)：
  • 博士(工学) (京都大学)
経歴 (5件)：
  • 2024/10 - 現在 東京科学大学 工学院 電気電子系 特任教授
  • 2022/03 - 2024/09 東京工業大学 工学院 電気電子専攻 特任教授
  • 2020/04 - 2022/02 技術研究組合光電子融合基盤技術研究所 (PETRA) つくば研究開発センター 主幹研究員
  • 2003/04 - 2020/03 産業技術総合研究所
  • 1985/04 - 2003/03 三菱電機株式会社
委員歴 (2件)：
  • 2012/04 - 2014/03 応用物理学会 論文賞委員会委員
  • 2004/04 - 2012/03 応用物理学会 JJAP編集委員
受賞 (4件)：
  • 2019/04 - 一般社団法人 エレクトロニクス実装学会 技術賞 Siフォトニクス技術を用いた超小型光トランシーバ『光I/Oコア』の開発
  • 2018/08 - International Conference on Electronics Packaging Outstanding Technical Paper Awards
  • 2016/09 - 応用物理学会 応用物理学会フェロー
  • 2008/07 - 応用物理学会 APEX/JJAP編集貢献賞
所属学会 (4件)：
IEEE Phortonics Society ,  電子情報通信学会 ,  IEEE EDS ,  応用物理学会
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